碳化硅(SiC)作为一种性能卓越的先进材料,因其宽禁带、高硬度、耐高压、耐高温、低热膨胀系数等特性,在多个工业和高科技领域展现出巨大的应用潜力。其产品形态多样,应用广泛,正逐步推动诸多行业的技术变革。
一、碳化硅基础材料与磨料
碳化硅材料本身根据纯度与晶体结构的不同,主要有黑碳化硅和绿碳化硅两个基本品种。
黑碳化硅含SiC约95%,韧性相对较高,大多用于加工抗张强度低的材料,如玻璃、陶瓷、石材、耐火材料、铸铁和有色金属等。
绿碳化硅含SiC约97%以上,自锐性好,主要用于加工硬质合金、钛合金和光学玻璃,也用于珩磨汽缸套和精磨高速钢刀具。
此外还有立方碳化硅,它是以特殊工艺制取的黄绿色晶体,用以制作的磨具特别适于轴承的超精加工。
碳化硅的莫氏硬度高达9.5级,仅次于金刚石(10级),并具有优良的导热性能和半导体特性。
二、半导体与电子器件
作为第三代半导体材料,碳化硅在电子器件领域的重要性日益凸显,其器件制备需要经过衬底制备、外延生长等多道精密工序。
1. 碳化硅衬底:根据电学性质不同,分为导电型衬底和半绝缘型衬底。导电型衬底主要用于制造功率器件,广泛应用于车载电源、直流充电桩、光伏逆变器、储能变流器(PCS)、变频器、伺服电机等领域;半绝缘型衬底则主要用于射频器件,如基站功率放大器、雷达系统等。国内外的领先企业如天岳先进、天科合达、晶盛机电等已能批量生产6英寸、8英寸衬底,并积极推进12英寸衬底的研发与量产。
2. 碳化硅肖特基二极管:具有超快的开关速度,超低的开关损耗,正向压降(Vf)为温度特性,易于并联,可承受更高耐压和更大的浪涌电流。这类产品广泛应用于电动汽车、消费类电子、新能源、轨道交通等领域。
3. 碳化硅MOSFET:作为重要的开关器件,碳化硅MOSFET具有低导通电阻、优异的高温性能和开关速度等特点。采用元胞微缩技术或沟槽栅结构的最新世代产品,其单位面积RDS(on)不断降低,芯片面积持续缩小。它们广泛应用于新能源汽车的主驱逆变器、OBC(车载充电机)、DCDC转换器,以及光伏逆变器、储能系统、工业自动化伺服驱动等领域。
4. 混合碳化硅分立器件(Hybrid SiC Discrete):采用硅基IGBT并联SiC肖特基二极管的共封装结构,兼顾了成本和动态性能,在储能PCS、OBC、UPS/逆变器等场景中应用。
5. 碳化硅功率模块:为满足高功率应用的需求,碳化硅MOSFET和二极管也被封装成工业级和汽车级的全碳化硅功率模块,用于高可靠性要求的场合。
三、密封与机械部件
碳化硅陶瓷因其耐化学腐蚀性好、强度高、硬度高、耐磨性能好、摩擦系数小,且耐高温,是制造密封环的理想材料。
上海德宝密封件有限公司等供应商提供多种类型的碳化硅密封环,包括反应烧结碳化硅(SJPRB)、无压烧结碳化硅(SJPSS)、无压烧结碳化硅加石墨(SJPSG)以及无压烧结碳化硅加微孔(SJPSP)。这些不同材料类型的密封环可满足不同工况的密封需求。
特别是在石油化工行业,碳化硅密封环产品能有效应对石油化工介质的腐蚀性,保障生产安全稳定进行。
分体式密封用碳化硅密封环采用专业的分瓣技术,在安装效率和实用性方面具有明显优势,特别适用于垃圾焚烧炉、大型泵阀等设备的密封安装。
四、光学与新兴应用
碳化硅材料的新应用领域也在不断拓展,尤其是在光学和消费电子领域。
碳化硅AR眼镜镜片:凭借碳化硅材料的高折射率与高热导率等特性,碳化硅光学衬底系统性地解决了传统AR眼镜面临的视场角窄、彩虹纹及散热等难题。理论上单层碳化硅镜片可实现80°以上全彩视场角,而玻璃镜片需叠加3层才能达到40°,这使得AR眼镜整体重量得以大幅减轻,有望突破20g临界点,接近普通眼镜形态。天科合达、山西天成半导体、扬帆半导体等企业均已布局该领域。
热沉材料:碳化硅具有良好的热导率,也可作为热沉材料用于需要高效散热的场合。
碳化硅产品体系丰富,从基础磨料到高端半导体器件,从工业密封件到前沿的AR眼镜镜片,其应用几乎渗透到了工业制造和高科技产业的各个角落。随着制备技术的不断进步,尤其是大尺寸(如8英寸、12英寸)衬底量产能力的提升和成本的持续优化,碳化硅产品还将在新能源汽车、可再生能源、5G通信、人工智能等更多领域发挥关键作用,助力全球产业的绿色低碳化和数字化转型。
碳化硅产业,特别是半导体领域,目前由海外巨头主导,但国内企业如天岳先进、天科合达、晶盛机电、三安光电等正奋力直追,并在全球市场中占据了一席之地。未来,随着技术创新的持续和应用场景的深化,碳化硅产品的种类和性能还将进一步丰富和提升。